微波等离子体源
一款微波等离子体发生器。
性能特点:
֍是具有高度灵活性的微波等离子发生器
֍可以有效应用在各种精密复杂的科研实验中
֍对于表面净化、超细清洗和表面活化及实时样品制备的分析方法多样化应用
֍是广泛的操作范围内的气体流量和微波功率等不可缺少的先决条件
主要技术参数:
输出功率