微波等离子体源


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波等离子体源

    一款微波等离子体发生器。



   


性能特点:

֍是具有高度灵活性的微波等离子发生器

֍可以有效应用在各种精密复杂的科研实验中

֍对于表面净化、超细清洗和表面活化及实时样品制备的分析方法多样化应用

֍是广泛的操作范围内的气体流量和微波功率等不可缺少的先决条件


主要技术参数:

输出功率

260W - 1500W
极限真空度≤5×10-5Pa·m3/s
气体质量流量控制多路