电子回旋共振等离子体（ECR）系统
用于等离子体镀膜、清洗。
性能特点：
֍具有无热阴极、电离度高的特点
֍具有可忽略放电室壁的散射的特性
֍能在低真空度下工作
֍设备性能稳定，使用寿命长
主要技术参数：
微波源输出功率
